Izvodnja odlozi za visoko vakuumsku i poluvodičnu opremu: ultračisti nehrđajući čelik (CF3M / 316L VIM), čvrstoća za curenje helija (< 10 − 9 mbar ⋅ l/s < 10 − 9 mbar⋅l/s) i elektro-poliranje

Meta Opis: Kompletni tehnički vodič za odlijevanje u komori za visoko vakuumsku i poluvodičnu opremu. U nastavku, istražite vakuumsko indukcijsko topljenje (VIM) niskougljičnih nehrđajućih čelika (ASTM A351 CF3M / 316L), CNC obradu CF-flange s oštricom noža, otkrivanje curenja helijum masovnim spektrometrom (<10 ^ -9

U naprednoj proizvodnji poluprovodničkih oblaka (plasma etching, kemijska deponija parom CVD, deponija atomskog sloja ALD, implantacija iona), vakuumska metalurgija i visokoenergetski fizički akceleratori čestica, vakuumske komore i procesni kolektori rade pod uvjet Sredstva za proizvodnju električne energije ${10}^{-3}\text{–}{10}^{-7}\text{mbar}$10−310−7 mbar )i "Utra-visoki vakuum" (UHV: ${10}^{-8}\text{–}{10}^{-11}\text{mbar}$10−810−11 mbar )-Ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne

Pod ovim ekstremnim pritiscima na atomskom nivou, standardni komercijalni metalni odlijevi su potpuno neprihvatljivi. Standardne odlijevanja pate od:

• U slučaju da se ne primjenjuje, to se može koristiti za određivanje vrijednosti. mikroskopske pore i rupci za smanjenje djeluju kao neprekidni virtualni curenja, zarobljavanje atmosferske plinove i desorbiraju vlagu tjednima, uništavajući vakuum u bazi komore.
• Površinski izlaz plinova i zagađenje ugljikovodikom : Visoka površinska hrapavost ( $R\mathrm{a.}>1.6\text{µm}$Ra> 1,6 μm ) pruža veliku stvarnu površinu za adsorpciju molekula vode.
• Koorzivni proces kemijski napad u skladu s člankom 3. stavkom 1. $N{F}_3,\mathrm{C.\; Sljedeći\; članak}{F}_4,\mathrm{C.\; Sljedeći\; članak}{\mathrm{-\; Ne,\; ne,\; ne,\; ne.}}_2,HBr$NF3, CF4, Cl2, HBr u slučaju da se ne primijenjuje primjena ovog standarda, u slučaju da se ne primjenjuje, to znači da se ne može primijeniti.

Za postizanje ultra-visoke integritete vakuumske komore potrebno je specijalizirano visoko čisto fondiranje: topljenje Srednja vrijednost od 100 g/m2 putem Vakuum indukcijsko topljenje (VIM) , postizanje nule mikro-poroznosti kroz disciplinirano odlijevanje investicijskih keramičkih ljuski, izvršavanje 5-osne CNC obrade U slučaju da je proizvodnja materijala u skladu s člankom 77. stavkom 1. ovog Pravilnika u skladu s člankom 77. stavkom 1. ovog Pravilnika, točka (a) ovog Pravilnika može se upotrebljavati za proizvodnju materijala u skladu s člankom 77. stavkom 1. $R\mathrm{a.}\le 0.4\text{µm}$Ra≤0,4 μm ), provjeravajući apsolutnu hermetičku čvrstoću pečata putem S obzirom na to da je to primjenjivo u svim državama članicama, to se primjenjuje na sve države članice. $<{10}^{-9}\text{mbar}\cdot \text{l/s}$s druge strane, za sve proizvode koji sadrže: ), i isporučivanje čistih soba certificiran Svrha: $R\mathrm{a.}\le 0.2\text{µm}$Ra≤0,2 μm ).

Ovaj vodič za inženjering pruža iscrpnu analizu vakuumske metalurgije, dizajna odlijevanja s nultim poreznostima, precizne UHV CNC obrade flange, protokola za otkrivanje curenja helija i standarda za elektro-poliranje čiste sobe.

1. za Uvremenom vakuumu (UHV) i mehanizmima degradacije komore

                     ┌──────────────────────────────────────────────┐
                     │ Ultra-High Vacuum Environment (<10^-8 mbar)  │
                     └──────────────────────┬───────────────────────┘
                                            │
        ┌───────────────────────────────────┼───────────────────────────────────┐
        ▼                                   ▼                                   ▼
┌───────────────────────────────┐ ┌───────────────────────────────┐ ┌───────────────────────────────┐
│ Virtual Leakage (Outgassing)  │ │ Corrosive Plasma Attack       │ │ Micro-Channel Through-Leakage │
│ (Trapped air/moisture in      │ │ (Halogen etch chemistry       │ │ (Through-wall interconnected  │
│  subsurface casting pores)    │ │  attacking inclusion sites)   │ │  shrinkage leaking He gas)    │
└───────────────────────────────┘ └───────────────────────────────┘ └───────────────────────────────┘

2. - Što? U skladu s člankom 3. stavkom 2.

Kako bi se eliminirali unutarnji džepovi plina i nemetalne uključivanja koja stvaraju virtualne curenja, vakuumske komore odlijevanja podvrgnu Vakuum indukcijsko topljenje (VIM) ili Argon-kisikovo odugljikljavanje (AOD) :

3. Slijedi sljedeće: Ulozi u proizvodnju i proizvodnju materijala za proizvodnju proizvoda iz segmenta:

Sredivno-vodničke vakuumske komore imaju složene interne kanale za distribuciju procesa plina, hlače za hlađenje vodom i više optičkih prizora:

┌─────────────────────────────────────────────────────────────┐
│ 1. Precision Multi-Piece Aluminum Tooling & Wax Injection   │
│    • High-stability wax patterns with zero sink marks       │
├─────────────────────────────────────────────────────────────┤
│ 2. Automated Multi-Layer Fused Silica Ceramic Shell Molding │
│    • Fine zircon flour primary face coat (Ra 1.6 µm finish) │
│    • Zero sand inclusion or ceramic spalling in mold cavity │
├─────────────────────────────────────────────────────────────┤
│ 3. Vacuum Induction Pouring with Filtered Bottom Ingate     │
│    • Melt poured directly under protective argon atmosphere │
│    • Directional progressive solidification from base up    │
├─────────────────────────────────────────────────────────────┤
│ 4. 100% Hot Isostatic Pressing (HIP Processing - Optional)  │
│    • $1,150 °C$ at $1,000\text{ bar}$ Argon pressure; collapses all  │
│      internal micro-voids, achieving 100% theoretical density│
└─────────────────────────────────────────────────────────────┘

4. - Što? S druge strane, za proizvodnju električnih vozila, primjenjuje se sljedeće:

"Specifična" za "izračunavanje" "izračunavanja" u skladu s člankom 6. stavkom 1.

        ┌───────────────────────────────────────────────────────┐
        │ 1. High-Vacuum Solution Annealing (1,100 °C)          │
        │ • Rapid water quench; eliminates all residual stress  │
        └──────────────────────────┬────────────────────────────┘
                                   │
                                   ▼
        ┌───────────────────────────────────────────────────────┐
        │ 2. 5-Axis CNC High-Speed Milling Center Operations    │
        │ • Precision machining of chamber internal cavities    │
        │ • Coaxiality of opposing viewport axes $\le 0.015\text{ mm}$│
        └──────────────────────────┬────────────────────────────┘
                                   │
                                   ▼
        ┌───────────────────────────────────────────────────────┐
        │ 3. ConFlat (CF) Knife-Edge & O-Ring Groove Micro-Turn │
        │ • CF flange knife-edge angle ($70^\circ \pm 0.5^\circ$) with  │
        │   sharp peak radius ($R \le 0.10\text{ mm}$)          │
        │ • O-ring dovetail groove surface roughness $Ra \le 0.4\text{ µm}$│
        └───────────────────────────────────────────────────────┘

- Pet. U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, za proizvodnju proizvoda koji sadrže:

"Specifična" je vrsta materijala koja se upotrebljava za proizvodnju električnih goriva.

Machined Chamber Surface (Ra 0.8–1.6 µm)
                   │
                   ▼
┌────────────────────────────────────────────────────────┐
│ 1. Ultrasonic Degreasing & Solvent Cleaning            │
│    (Removes all CNC cutting oils and particulate matter)
└──────────────────┬─────────────────────────────────────┘
                   │
                   ▼
┌────────────────────────────────────────────────────────┐
│ 2. Nitric-Hydrofluoric Acid Pickling & Passivation     │
│    (ASTM A380 / A967: Removes free iron and oxide scale)
└──────────────────┬─────────────────────────────────────┘
                   │
                   ▼
┌────────────────────────────────────────────────────────┐
│ 3. Precision Anodic Electro-Polishing (EP) (ASTM B912) │
│    • Controlled electrochemical dissolution of peaks   │
│    • Delivers true mirror finish ($Ra \le 0.20\text{ µm}$)  │
│    • Maximizes $Cr/Fe$ surface atomic ratio ($\ge 2.0$)│
└──────────────────┬─────────────────────────────────────┘
                   │
                   ▼
┌────────────────────────────────────────────────────────┐
│ 4. Class 1,000 Cleanroom Ultra-Pure Water (UPW) Rinse  │
│    • 18 MΩ·cm deionized water rinse + clean dry pack   │
└────────────────────────────────────────────────────────┘

6. - Što? U skladu s člankom 6. stavkom 1.

Svaki vakuumski odlivanje prolazi 100% Helium curenje provjere U skladu s člankom 6. stavkom 1. :

- Sedam. U skladu s člankom 2. stavkom 1.

Proizvodnja odlijevanja u komori visoke vakuumske i poluprovodničke kvalitete zahtijeva ultračisto topljenje, precizne investicijske tvornice odlijevanja, 5-osne CNC obrade i testiranje curenja helija u kući.

U skladu s člankom 11. stavkom 1. u skladu s člankom 3. stavkom 1.

• U skladu s člankom 3. stavkom 1. : Certificirana proizvodnja vakuumno topljene ASTM A351 CF3M, CF3, CF8M (cast 316L/304L), s ultra niskim udjelom ugljika ( $\mathrm{C.\; Sljedeći\; članak}\le 0.020\mathrm{\%}$C≤0,020% (i sumpor ( $S\le 0.008\mathrm{\%}$S≤ 0,008% ).
• Precizna ulaganja i odlijevanje školjki u skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, za proizvodnju materijala koji sadržavaju gume ili gume, primjenjuje se sljedeći standard:
• S druge strane, za proizvodnju električnih vozila, primjenjuje se sljedeće: : Posebni CNC obradni centri s klimatskim nadzorom koji pružaju precizne CF ivice noža i O-ring žlijezde unutar $\pm 0.010\text{mm}$smanjenje dužine .
• Službeni sustav za ispitivanje : Ugrađeni Pfeiffer i Inficon sistemi za testiranje curenja helija na vakuum koji potvrđuju stope curenja do $<1.0\times {10}^{-9}\text{mbar}\cdot \text{l/s}$s druge strane, za sve proizvode koji sadrže: .
• Potpuna dokumentacija o kvaliteti u skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, za proizvodnju proizvoda koji sadrže helijum, za proizvodnju proizvoda koji sadrže helijum, za proizvodnju proizvoda koji sadrže helijum, za proizvodnju proizvoda koji sadrže helijum, za proizvodnju proizvoda koji sadrže helijum, za proizvodnju proizvoda koji sad

Odluka Komisije

Vrlo vakuumska i poluprovodnička oprema za odlivanje u komoru radi na granici visokotehnološke proizvodnje osjetljive na atome. Za uklanjanje virtualnih curenja izduvnih plinova, mikro kanala kroz zid i kontaminacije česticama potrebna je ultračista metalurgija od niskougljičnog nehrđajućeg čelika (CF3M / 316L VIM), investicijska odlivanja s nultim poreznostima, precizna CNC ob $R\mathrm{a.}\le 0.2\text{µm}$Ra≤0,2 μm ), i provjerena čvrstoća propusta na helijumu masenim spektrometrom ( $<{10}^{-9}\text{mbar}\cdot \text{l/s}$s druge strane, za sve proizvode koji sadrže: ).

Partnerstvo s iskusnim, integrisanim vakuumskim livenjem i preciznim strojnim pogonom osigurava da vaše poluprovodnike i vakuumske procesne komore brže pumpaju, održavaju dublji vakuum i pružaju proizvodnju obrada obloga bez mana.

Kontaktirajte Dandong City Pengxin Machinery Co., Ltd. da biste poslali crteže vakuumske komore ili zatražili podatke o potvrdi curenja helija.

U skladu s člankom 1. stavkom 1. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 1225/2009